ERS electronicがウエハープロービングの温度試験用の多用途でより持続可能なソリューション「AC3 Fusion」サーマルチャックシステムを発表

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【ミュンヘン2022年4月22日PR Newswire＝共同通信JBN】半導体製造向け熱管理ソリューション市場で業界をリードするERS electronic（https://www.ers-gmbh.com/ ）は、有名なAC3サーマルチャックシステムの拡張版「Fusion」を発表した。同システムには、特定の試験要件に合うよう最適化された、現場で設定可能な3つのデフォルトモードと、主要パラメーターをユーザーが決められるFusionモードを備えた新シリーズの高性能チラーが搭載されている。こうしたモードを備えたAC3 Fusionサーマルチャックシステムは、エネルギー効率と柔軟性に優れた3温度ウエハー試験用の妥協のないソリューションである。

特許取得済みのエアマネジメント技術を採用したERSのAC3（https://www.ers-gmbh.com/thermal-chucks/our-products/ac3 ）は、2005年に市場投入された。以来、予冷、冷却、パージの3回にわたって空気を再利用することで、業界で最もコスト効率が高く、リソースに優しいサーマルチャックシステムの1つとして高い評価を得てきた。

温度試験中のコストとエネルギー消費をさらに抑えるため、AC3 Fusionには、アンビエントおよびホット試験中に最大65%のエネルギーを節約できるECOモードがある。同システムのもう1つのコンポーネントは、AC3 Fusion計算機アプリである。ユーザーはこのアプリを使い、さまざまな試験シナリオにおける各モードのエネルギー消費とコストを計算できる。

ERS electronicのKlemens Reitinger最高技術責任者（CTO）は「AC3 Fusionの開発に取り組み始めたときに当社が重視したのは、システムの効率をさらに高め、環境フットプリントを抑えることだった」「当社はこのソリューションで、こうしたモードを全て1つのシステムで提供することにより、ウエハープロービングの温度試験をさらに高いレベルに引き上げた」と語った。

ERS electronicのLaurent Giai-Miniet最高経営責任者（CEO）は「当社には低炭素経済を奨励、実現する技術を開発する責任があると考えており、AC3 Fusionをアースデイに発表することにしたのはそのためだ」「自社の持続可能性パフォーマンスをさらに向上させるため、当社は「Leaders for Climate Action」（https://lfca.earth/en_de/ ）という組織に参加し、排出量を測定、削減し、気候中立性という最終的な目標の達成に役立てている」と語った。

AC3 Fusionは、6月から注文可能になる。

▽ERSについて
ERS electronic GmbHは、50年以上にわたり半導体産業向けの革新的な熱試験ソリューションを製造してきた。同社は、分析試験、パラメーター関連試験、製造試験用にセ氏マイナス65度からプラス550度の温度範囲に対応した高速かつ正確な空冷式サーマルチャックシステムで高い評価を得てきた。

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ソース：ERS electronic GmbH