ERS electronicがウエハー試験の自動温度校正用最先端測定装置「ProbeSense（TM）」を発表

AsiaNet 96163 （1200）

【ミュンヘン2022年5月24日PR Newswire＝共同通信JBN】半導体製造向け熱管理ソリューション市場で業界をリードするERS electronic（https://www.ers-gmbh.com/ ）は、実際のプローブ領域で30mK以下の高精度自動測定を実現した温度校正装置を開発した。

「ProbeSense（TM）」（https://www.ers-gmbh.com/thermal-chucks/probesense ）と名付けられた特許出願中の装置は、プローバーのプローブカード位置に取り付けられた温度センサーでできている。同センサーは、プローバーのXYZ軸動作機能を活用し、プローブ中と同条件でウエハー表面の数地点の温度を測定できる。ProbeSense（TM）は、顧客のプローバーに合わせたアダプタープレートを同梱して届けられ、半導体業界の全てのウエハープローバーに対応している。ProbeSense（TM）のパッケージには、mKレンジ内でセンサーと共に校正された温度測定器も同梱されている。

ERSのソフトウエアProbeSense（TM）をプローバーに組み込むことで、プロセスが完全に自動化され、オペレーターを必要とせずに、チャック上の複数のポイント、複数の温度でテストスクリプトの実行が可能になる。MPI Corporation（https://www.mpi-corporation.com/ ）は、プローブステーションでこのアドオン機能を提供する初のプローバーメーカーである。

ERS electronicのKlemens Reitinger最高技術責任者（CTO）は「ProbeSense（TM）は、堅ろうで高精度かつ使いやすい校正ツールのニーズに対応するものだ。自動化機能はいくつかのプローバーメーカーが統合しつつあるが、高精度校正と温度均一性測定におけるゲームチェンジャーになると考えている」と語った。

MPI CorporationのStojan Kanev高度半導体試験担当ゼネラルマネジャーは「MPI Corporationは、サーマルチャック校正用ProbeSense（TM）のプローバー制御用ソフトウエアパッケージ「SENTIO（R）」への統合には明確なメリットがあると考えている。手順が完全自動化され直感的操作が可能になり、夜間や週末に校正を行うことで迅速に結果が出せるため、貴重な試験時間を犠牲にする必要がなくなる」「当社はこうした機能を提供することで、コスト効率、時間効率の良い熱校正ソリューションを求める顧客の声に応えている」と語った。

ERSのProbeSense（TM）は現在、注文可能である。

▽ERSについて
ミュンヘン近郊に拠点を置くERS electronic GmbHは、50年以上にわたり半導体産業向けの革新的な熱試験ソリューションを製造してきた。同社は、とりわけ分析試験、パラメータ関連試験、製造試験用にセ氏マイナス65度からプラス550度の温度範囲に対応した高速かつ正確な空冷式サーマルチャックシステムで業界内で高い評価を得てきた。

Video：https://www.youtube.com/watch?v=YuJksH8uOQY
Logo：https://mma.prnewswire.com/media/1801970/ERS_electronic_GmbH_Logo.jpg

ソース：ERS electronic GmbH